УДК 539.371, 538.911
ДВУСЛОЙНЫЙ КОМПОЗИТ НА ОСНОВЕ
МАТЕРИАЛА С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ ФОРМЫ, ПОЛУЧЕННЫЙ ПРИ ПОМОЩИ НАПРАВЛЕННОЙ
АМОРФИЗАЦИИ ИОННЫМ ПУЧКОМ
В.
С.
Афонина1, В. В. Коледов1, В.
Г. Шавров1, В. А. Дикан2,
А. В. Иржак2,3, А.
П. Каманцев1
1 -
Институт радиотехники и электроники имени В.А. Котельникова РАН
2 -
Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»
3
- Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
Статья получена 15
января 2015 г.
Аннотация. Исследовано воздействие
высокоэнергетичным фокусированным пучком ионов Ga+ на поверхность
отожженных быстрозакаленных из расплава (БЗР) лент Ti2NiCu. Получены
аморфно-кристаллические композиты на основе материала с ЭПФ при помощи
локального ионного облучения. Продемонстрировано, что аморфизованный слой может
быть образован двумя видами воздействия - непосредственно бомбардировкой
поверхности и при переосаждении распыленного материала. Созданы образцы
композитных микроактюаторов методом модификации поверхности БЗР сплава высокоэнергитичным
фокусированным пучком ионов. Продемонстрирована обратимая деформация
микроактюаторов при нагреве и охлаждении, характерная для материалов с ЭПФ.
Ключевые
слова:
эффект памяти формы, двуслойный композит, аморфизация, Ti2NiCu, микроактюатор,
фокусированный ионный пучок.
Abstract. The interaction of a
focused ion beam of Ga+ with the surface of the annealed rapidly
quenched from the melt ribbons of the Ti2NiCu alloys was investigated. The amorphous-crystalline
composites and microactuators based on rapidly quenched shape memory alloy Ti2NiCu
are obtained by Focused Ion Beam (FIB) treatment and studied. It is demonstrated
that the amorphized layer may be formed by two types of impact: direct
bombardment of the surface and material redeposition. Shape memory effect is demonstrated
by reversible bending deformation during heating and cooling of the composites.
Key words: shape memory effect, bilayer
composite, amorphization, Ti2NiCu, microactuator, focused ion beam.