УДК 681.7.068:530.182 +
681.7.068.539.9
ВЫСОКОАПЕРТУРНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ ВОЛНОВОДОВ НА
ОСНОВЕ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА, ЛЕГИРОВАННОГО ФТОРОМ, ФОРМИРУЕМЫЕ В НЕИЗОТЕРМИЧЕСКОЙ
ПЛАЗМЕ РЕЗОНАНСНОГО ЛОКАЛЬНОГО СВЧ-РАЗРЯДА
ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ
Л. М. Блинов1, А. П.
Герасименко3,
Ю. В. Гуляев1, А. П. Долгов3, Л. Ю.
Кочмарев2, И. П. Шилов2
1
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
2Фрязинский
филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
3 ОАО «Радиотехнический институт имени академика А.Л. Минца»
Статья поступила в редакцию 24 декабря
2015 г.
Аннотация. В работе представлены результаты разработки
лабораторной технологии получения высокоапертурных (~0,3) волоконных
световодов и планарных оптических волноводов (ПОВ) с повышенной числовой
апертурой с кварцевой сердцевиной и фторсиликатной отражающей оболочкой методом
PCVD, использующим неизотермическую
плазму резонансного локального СВЧ-разряда пониженного давления. Данный тип световодов используется для создания различных
оптических элементов в фотонике и высокочувствительных волоконно-оптических
зондов в лазерной медицине. В работе использовался проходной
волноводно-резонаторный СВЧ-плазмотрон на волне Н10 с
укорачивающей Н-образной емкостью в середине волновода и короткозамыкающим
поршнем на конце, эффективно работающий с резонансной настройкой на виде
колебаний , где n=1, 2… . Исследованы свойства полученных
высокоапертурных световодов, а также - оптических планарных волноводов.
Ключевые слова:
СВЧ плазма,
волноводный плазматрон, резонанс, высокая апертура, световод, оптический
планарный волновод, разветвитель, кварцевые слои, легированные фтором.
Abstract: In this paper we presented
some results of a developed laboratory technology of high-aperture (~0,3) silica fiber preforms and planar waveguides with increased
aperture fabrication, which is based on PCVD method, where a microwave non-isothermal
plasma is used; material of a core is pure SiO2,
refracting cladding - F-doped SiO2. Such kind of fibers is used,
for example, in preparing of some optical elements in photonics, and high
sensitive optical fiber probes in laser medicine. In this work was
we used a microwave plasmatron of pass-through, waveguide-resonator type,
having the shortening capacity in the center of waveguide , and the
short-circuiting plunger at the end. It allows the effective resonance adjustment
on the H10n modes (n = 1, 2 …). Some properties of
produced preforms, optical fibers and planar waveguides are investigated.
Key words: microwave plasma, microwave
plasmatron, resonance, high numerical aperture, optical fiber, optical planar
waveguide, splitter , silica glass layers, doped by fluorine.