УДК 539.219.3:669

ВЛИЯНИЕ НЕПОСТОЯНСТВА КОЭФФИЦИЕНТА ДИФФУЗИИ И РАСТВОРИМОСТИ ПРИМЕСИ В МНОГОСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЕ НА РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСИ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ В НЕЙ ДИФФУЗИОННОГО p-n-ПЕРЕХОДА. ОПТИМИЗАЦИЯ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ОТЖИГА.

Е.Л. Панкратов
Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород

Получена 21 февраля 2007 г.

С помощью предложенного в настоящей работе развития разработанной ранее методики анализа массо- и теплопереноса (см., например, [1,2]) проведен анализ динамики перераспределения примеси в многослойной полупроводниковой структуре с учетом временной и концентрационной зависимости коэффициента диффузии и растворимости примеси. Проиллюстрировано, что правильно выбранное пространственное распределение свойств твердотельной структуры позволяет увеличить резкость сформированного в ней диффузионного p-n-перехода, а также равномерность распределения примеси в обогащенной ею области. Обобщены полученные в [2] условия для одновременного увеличения резкости диффузионного p-n-перехода и равномерности распределения в нем примеси. Рассмотрена методика оптимизации длительности отжига для данных целей.