621.372.542.29

Широкополосный распределенный фильтр для сверхпроводниковых наноболометров

 А. А. Кузьмин, О. В. Корюкин, С. В. Шитов, А. Г. Коваленко
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Получена 16 февраля 2011 г.
 

Аннотация. Разработана концепция, создана технология изготовления и проведены экспериментальные исследования нового распределенного широкополосного   фильтра низких частот для криогенных наноболометров с полосой заграждения 0,1 – 20 ГГц  на основе комбинации интегрального тонкопленочного конденсатора с демпфирующей линией передачи на основе витой пары из манганина. Уровень заграждения составил 50 дБ на частоте 1 ГГц и более 80 дБ на частоте 20 ГГц, что ставит новый фильтр на один уровень с лучшими мировыми аналогами, оставляя за новой разработкой преимущество в простоте изготовления и серийной повторяемости при использовании технологического цикла, совместимого с производством криогенных наноболометров.
Ключевые слова: фильтр помех, витая пара, сверхпроводниковый болометр, наноболометр, тонкопленочный конденсатор.

Abstract We report the developed concept, fabrication technology and experimental studies of the new distributed broadband low-pass filter for cryogenic nanobolometers with the bandwidth 0.1 - 20 GHz based on a combination of an integral thin-film capacitor with damping transmission line based on a manganine twisted pair. Attenuation reached 50 dB at 1 GHz and 80 dB at 20 GHz, which is the same as in the best world analogues, but fabrication is more simple and repeatable when using technology cycle that is compatible with the technology of cryogenic nanobolometers.
Key words: cryogenic filter, superconducting bolometer, thin-film capacitor.