ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОСТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТИТАНА ДЛЯ КРИОГЕННЫХ ДЕТЕКТОРОВ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

 

И. Г. Ляхов ¹,  К. В. Булах ¹,  А. С. Ильин ²

¹  НИУ МФТИ, ² ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН

Получена 12 сентября 2012 г.

 

Аннотация. Проведено исследование тонких пленок титана, получаемых при различных режимах магнетронного напыления на кремниевой подложке с помощью электрических измерений при T=300 K и 77 K , а также проведены исследования на атомно-силовом микроскопе (АСМ) и рентгеновской дифрактометрии (XRD). Показано, как зависит остаточное удельное сопротивление пленок (и критическая температура сверхпроводящего перехода T_с) от параметров напыления. Данные сопоставлены с измерениями на АСМ и XRD.

Ключевые слова: сверхпроводниковые болометры, сенсоры на краю перехода, тонкие сверхпроводниковые пленки титана, экспресс метод оценки критической температуры, рентгеновская дифрактометрия.

Abstract. A study of titanium thin films received by different modes of magnetron sputtering on a silicon substrate with the help of electrical measurements at T=300 K and 77 K and  research on atomic-force microscope (AFM) and x-ray diffractometry (XRD) were made. The dependence of the residual resistivity of the films (and the critical temperature of superconducting transition T_C) on sputtering parameters was shown. The data was compared with measurements on the AFM and XRD.

Keywords: superconducting bolometers, transition edge sensors, superconducting titanium thin films, express method for estimating the critical temperature, X-ray diffractometry.