УДК. 621.315.592

Определение характеристик гетероструктур при измерении потенциала поверхности

И. Ю. Бутусов, Я. А. Болдырева, С. В. Попов

Военный учебно-научный центр ВВС «Военно-воздушная академия
им. профессора Н.Е. Жуковского и Ю.А. Гагарина»

394064, Воронеж, ул. Старых Большевиков, д. 54 а

 

Статья поступила в редакцию 11 июня 2019 г.

 

Аннотация. Работа посвящена измерению потенциала поверхности гетероструктур. Разработан измеритель потенциала поверхности гетероструктур методом динамического зонда Кельвина. Для вибрации измерительного зонда используется пьезоэлектрический вибратор. Работа выхода измерительного зонда составляет 5,0эВ, случайная ошибка измерений – 100 мВ.

 Ключевые слова: потенциала поверхности, зонд Кельвина, гетероструктура.

Abstract. The work is devoted to the measurement of the surface potential of heterostructures. A surface potential meter for heterostructures was developed using the Kelvin dynamic probe method. A piezoelectric vibrator is used to vibrate the measuring probe. The output of the measuring probe is 5.0 eV, random measurement error is 100 mV.

Key words: surface potential, Kelvin probe, heterostructure.

 

Для цитирования:

И. Ю. Бутусов, Я. А. Болдырева, С. В. Попов. Определение характеристик гетероструктур при измерении потенциала поверхности. Журнал радиоэлектроники [электронный журнал]. 2019. № 8. Режим доступа: http://jre.cplire.ru/jre/aug19/11/text.pdf

DOI 10.30898/1684-1719.2019.8.11