УДК 621.382

Получение углеродных и азотсодержащих слоев на поверхности металлов ИС СВЧ ионным модифицированием

 

И. В. Перинская, В. В. Перинский

Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.,
410054, г. Саратов, ул. Политехническая, д.77

 Статья поступила в редакцию 22 ноября 2018 г. 

Аннотация. Предложен способ получения композитных покрытий на основе меди, алюминия – металлов, применяемых в ИС СВЧ ионно-лучевым модифицированием ионами азота и аргона. Ионное микроконструирование позволило разработать ряд оригинальных методик изготовления микрокомпонентов ИС СВЧ, создать конкурентоспособные аналоги существующих технологических процессов, используя ионно-лучевой синтез на поверхности металлов ультрадисперсного беспористого углеродного и азотсодержащего покрытий с уникальным сочетанием коррозионных, электрических и механических свойств.

Ключевые слова: ионно-лучевое модифицирование, ультрадисперсное беспористое углеродное покрытие, азотосодержащее покрытие, тонкопленочный конденсатор, тонкопленочный резистор.

Abstract. A method of obtaining composite coatings based on copper, aluminum - metals used in the microwave by ion-beam modification with nitrogen and argon ions is proposed. Ion microconstruction allowed us to develop a number of original techniques for manufacturing microcomponents of microwave, to create competitive analogues of existing technological processes using ion-beam synthesis on the surface of metals of ultrafine nonporous carbon and nitrogen-containing coatings with a unique combination of corrosive, electrical and mechanical properties. The dependence of the surface resistance of aluminum on the dose of embedded nitrogen ions, the temperature coefficient of resistance of resistors based on ion-modified aluminum films has been studied, a route for manufacturing thin-film resistors for integrated circuits during the implantation of nitrogen ions with accelerating voltage U_acc=40 kV and dose F=(2-8)×10¹⁵ ion/cm². The formation of interlayer microwave capacitors by ion-beam modification is based on the effects of activation and passivation of the surface of ion-modified metal samples, including passivation of a diamond-like carbon film with a non-porous film synthesized on the surface of a metal substrate by implantation of argon ions with accelerating voltage U_acc=75 kV and dose F=3000 μC/cm². The results of the study of the dependence of the operational characteristics of capacitors and the percentage of yield of the mode of implantation of argon ions are given.

Keywords: ion-beam modification, ultrafine non-porous carbon coating, nitrogen-containing coating, thin-film capacitor, thin-film resistor.

 

Для цитирования:

И. В. Перинская, В. В. Перинский. Получение углеродных и азотсодержащих слоев на поверхности металлов ИС СВЧ ионным модифицированием. Журнал радиоэлектроники [электронный журнал]. 2018. № 12. Режим доступа: http://jre.cplire.ru/jre/dec18/1/text.pdf

DOI 10.30898/1684-1719.2018.12.1