ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. eISSN 1684-1719. 2025. №12

УДК: 535.361

ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АЛЮМИНИЯ
В КАЧЕСТВЕ ЗЕРКАЛ МИКРОВОЛНОВЫХ ОТРАЖАТЕЛЕЙ

М.А. Тарасов¹, Д.С. Жогов¹, А.М. Чекушкин¹, Р.К. Козулин¹,
А.С. Марухно², А.А. Татаринцев³, А.А. Ломов³

¹ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН,
125009, Россия, Москва, ул. Моховая 11, к. 7.

²Специальная астрофизическая обсерватория РАН,
369167, Россия, Карачаево-Черкесия, п. Нижний Архыз

³Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», Физико-технологический институт им. К.А. Валиева,
117218, Россия, Москва, Нахимовский просп. 36 к.1.

Статья поступила в редакцию 8 декабря 2025 г.

Аннотация. Тонкопленочные зеркала применяются для изготовления квазиоптических высокодобротных резонаторов и зеркал, оптических и радиотелескопов. Качество пленок и их отражающие характеристики могут существенно влиять на параметры таких устройств. Проведен цикл рентгеноструктурных, электронно-микроскопических, атомно-силовых исследований, а также измерение коэффициентов отражения на частотах 30-300 ГГц. Для пленок толщиной 100, 200, 300 нм, нанесенных методами магнетронного и термического напыления, измерены коэффициенты отражения по мощности от пленки, прижатой к открытому концу выходного волновода направленного ответвителя. На частотах выше 90 ГГц коэффициент отражения по мощности превышал 0,97 в пределах точности измерений 0.03. Исходя из этих результатов можем заключить, что отражающие свойства зеркала БТА позволяют работать на частотах выше 90 ГГц без потерь на отражение на зеркалах.

Ключевые слова: тонкие металлические пленки, Al, термическое напыление, магнетронное напыление, коэффициент отражения, потери, тепловые шумы.

Финансирование: Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда по гранту 23-79-00022

Автор для переписки: Тарасов Михаил Александрович tarasov@hitech.cplire.ru

Литература

1. M.A. Tarasov, A.A. Gunbina, A.M. Chekushkin, M.A. Markina, R.A. Yusupov, M.Yu. Fominskii, L.V. Filippenko, V.S. Edelman, V.F. Vdovin, V.S. Stolyarov, I.I. Zinchenko, A.M. Krasilnikov, A.S. Marukhno, M.A. Mansfeld, D.E. Kukushkin, D.A. Sazonenko, O.S. Bolshakov, A.B. Ermakov, I.V. Lesnov, A.F. Valeev, SINIS Detectors in the Subterahertz Range as a Basis for a Receiver for Radio Astronomical Research on the BTA Optical Telescope (SAO RAS), Astrophysical Bulletin, 2025, Vol 80, No 3, pp 502-518, https://doi.org/10.1134/S1990341324600996.

2. А. Ломов, М.А. Тарасов, К.Д. Щербачев, А.А. Татаринцев, А.М. Чекушкин, Анализ электрического сопротивления тонких пленок Al на основе данных об их плотности, Микро- и наноэлектроника – 2025: Труды междунар. Конф. (6-10 октября 2025, Ярославль РФ), Щ2-07, с. 120, ISBN 978-5-317-07443-2 https://doi.org/10.29003/m4737.ICMNE-2025.

3. Ю.Ю. Балега, А.Ф. Валеев, Г.Г. Валявин, В.Ф. Вдовин, А.В. Вдовин, А.А. Гунбина, В.К. Дубрович, М.В. Ефимова, С.А. Капустин, А.М. Красильников, Д.Е. Кукушкин, И.В. Леснов, М.А. Мансфельд, А.С. Марухно, Н.А. Марухно, К.В. Минеев, В.В. Паршин, В.А. Сальков, В.А. Столяров, М.А. Тарасов, А.М. Трояновский, М.Ю. Фоминский, В.С. Эдельман, А.И. Яворовская, Система для наблюдений в субтерагерцовом диапазоне на оптическом 6-метровом телескопе БТА, Доклады РАН, Физика, 2025 (в печати).

4. М.А. Тарасов, А.А. Ломов, А.М. Чекушкин, А.А. Татаринцев, Б.М. Середин, М.А. Маркина, Е.Ф. Позднякова, А.Д. Голованова, М.В. Стрелков, Д.С. Жогов, Р.К. Козулин, К.Ю. Арутюнов, Морфология и электрические параметры тонких алюминиевых пленок, осаждаемых на подложки при температурах от 77 до 800 К, Письма в ЖТФ, 2025, том 51, вып. 4, с. 42-45. https://doi.org/10.61011/PJTF.2025.04.59843.20149.

5. М.А Тарасов, А.А. Ломов, К.Д. Щербачев, А.А. Татаринцев, М.В. Стрелков, Д.С. Жогов, Р.К. Козулин, А.М. Чекушкин, М.А. Маркина, А.Д. Голованова, А.М. Трояновский, Особенности сопротивления, критической температуры и микроструктуры криогенных тонких пленок алюминия, ФТТ, 2025, том 67, вып. 7, с. 1240-1245. https://doi.org/10.61011/FTT.2025.07.61180.18HH-25.

6. A.A. Lomov, M.A. Tarasov, K.D. Shcherbachev, A.A. Tatarintsev, A.M. Chekushkin, Complementary studies of aluminum thin films: resistivity and real structure, Russian Microelectronics, 2025, vol 54, no 5, pp 494-505. https://doi.org/10.1134/S1063739725600554.

Для цитирования:

Тарасов М.А., Жогов Д.С., Чекушкин А.М., Козулин Р.К., Марухно А.С., Татаринцев А.А., Ломов А.А. Тонкие пленки алюминия в качестве зеркал микроволновых отражателей. // Журнал радиоэлектроники. – 2025. – №. 12. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2025.12.10