ПРИМЕНЕНИЕ РЕЗОНАТОРА ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

О.Г.Кошелев, Е.А.Форш,
Физический факультет Московского Государственного университета им. М.В. Ломоносова

Получена 27 января 2000 г.

Рассмотрен метод определения зависимости проводимости высокоомной полупроводниковой пластины от расстояния до ее поверхности. Расчеты на компьютере в одномерном приближении показали, что эта обратная задача может быть решена путем измерений добротностей открытого конфокального резонатора. Эти измерения должны проводиться на нескольких частотах при четырех положениях пластины в области перетяжки пучка в резонаторе.

xxx