Введение,
Части 1 и 2

Часть 3

Части 4 и 5

Часть 6

Часть 7, Выводы,
Литература

4. Установление требований к точности позиционирования деталей.

При проведении анализа метрологических возможностей голографического коррелятора для задач контроля линейных размеров деталей в разделе 3 предполагалось, что положения контролируемой и эталонной деталей на входе коррелятора совпадают. В реальных же условиях производства за счет дестабилизирующих факторов следует ожидать рассогласования между их положениями. Поэтому представляет практический интерес исследование поведения максимума корреляционного отклика от ориентации детали на входе коррелятора. Под ориентацией понимается:

- положение контролируемой детали относительно центра апертуры иди маски относительно центра контролируемой детали;

- рассогласование между угловыми положениями контролируемой и эталонной деталями.

Анализ влияния каждого из видов ориентации на максимум корреляционного отклика будем проводить в предположении, что по другому виду ориентации положения деталей совпадают.

Для установления требований к точности расположения детали внутри входной апертуры необходимо в общем случае знать влияние ориентации на максимум корреляционного отклика по двум координатам. Однако при подаче детали на позицию контроля с непрерывным перемещением детали через нее достаточно найти влияние лишь по одной координате, поскольку совмещение по другой координате обеспечивается автоматически. С математической точки зрения это означает, что достаточно провести анализ поведения корреляционного отклика при контроле одномерной детали типа щель.

Пропускание щели, когда оси маски и щели совпадают, можно записать в виде

,                                              (26)

где — ширина щели; — ширина маски, — символ операции свертки и — обобщенная функция Дирака.

Амплитудное пропускание входной плоскости коррелятора при параллельном сдвиге щели относительно маски запишется как

,                                                     (27)

где — смещение маски относительно щели.

После подстановки (26) и (27) в (1), интегрирования и нормирования получим аналитическое выражение для центрального пика корреляционного отклика

                                               (28)

Положив , что как уже отмечалось, соответствует физическим условиям работы системы контроля, окончательно будем иметь

.                                                                                           (29)

График зависимости (29) показан на рис.10. Видно, что с учетом доверительного интервала измерений существующих фотоприемников точность расположения детали относительно оси маски должна быть на хуже 0,02 размера пропускающей свет области. Несложный расчет показывает, что такая точность ориентации деталей на позиции контроля обеспечивается существующими техническими средствами.

Из теории голографической обработки информации известно [38], что на величине корреляционного отклика сказывается влияние угловой ориентации анализируемого и эталонного образов. Причем величина уменьшения отклика для различных по конфигурации образов будет личной.

Поскольку основную массу деталей в точной приборостроении составляют детали с конфигурацией, описываемой кривыми второго порядка, то ограничимся рассмотрением случая контроля детали с конфигурацией в виде эллипса.

Амплитудное пропускание входной плоскости коррелятора от такой детали будет иметь вид

                                                              (30)

где и — большая и малая оси эллипса соответственно.

После подстановки (30) в (1), интегрирования и нормирования получим следующее выражение для максимума корреляционного отклика для малых (в пределах нескольких градусов) угловых отклонений контролируемой детали от эталонного положения

,                 (31)

где — угол поворота детали относительно эталонного положения, . На рис.11 представлены зависимости выражения (31) от изменения угла для трех значений отношения .

Из сравнения кривых видно, что уменьшение максимума корреляционного отклика на (1¸2)% соответствует угловому отклонению контролируемой детали от эталонного положения на (0,5¸1)° . Технически такая точность ориентации вполне обеспечивается существующими средствами.

Размер фотоприемника

В голографических системах обработки информации фотоприемник обычно представляет собой комбинацию отверстия, располагаемого по центру автокорреляционного отклика, и фотоумножителя. При этом требуется точное положение фотоумножителя в выходной плоскости системы контроля. Отметим, что такая схема считывания корреляционного сигнала позволяет обрабатывать лишь часть информации, содержащейся в ней, и фотоприемник должен выбираться с учетом структуры корреляционного сигнала. Теперь, принимая во внимание то, что фототок схемы считывания линейно зависит от интенсивности корреляционного отклика, поступающей на отверстие, получим

.                                                                                   (32)

Поскольку разложение в ряд выражения (13) описывает интенсивность корреляционного сигнала в точке , то предыдущие рассуждения в отношении вопроса оптимизации являются правомочными в том случае, если использован точечный фотоприемник, расположенный в точке . Из анализа выражений (9) и (10) следует, что допустимый радиус отверстия может быть равен

.                                                                                              (33)

Здесь фазовым членом можно пренебречь.

5. Ограничения метода

Техническая реализация метода согласованной фильтрации базируется на двух ограничениях. Они относятся к выборке информации и влиянию положения и ориентации контролируемого изделия на входе системы контроля на корреляционный отклик.

Выборка информации.

О выборке информации говорят тогда, когда контролируются несколько дефектов среди множества дефектов, которые имеют большой допуск. При этом фильтр можно оптимизировать, если все остальные дефекты рассматриваются как детерминированный шум. Короче, метод оказывается не эффективным в том случае, когда требуется устранить влияние на кривую отклика всех дефектов, контролировать которые не надо. Поэтому приходится использовать соответствующие маски, чтобы выделить требуемые дефекты. Маскирование пространственного спектра является эффективным по той причине, что оно позволяет отделить спектральную область, наиболее чувствительную к исследуемому дефекту.

Даже в том случае, когда нет необходимости выделения конкретной информации, измерение корреляционного пика представляется весьма полезной операцией, так как она дает возможность качественно оценить подобие между сравниваемыми деталями. Поскольку в измеренном сигнале суммируются все возможные дефекты, то такой сигнал труден для количественной оценки допусков.

Положение и ориентация детали на входе системы контроля.

Влияние положения и ориентации детали на входе системы контроля на ее корреляционный отклик показано в разделе 4. В пределах поля допусков позиционирования, достижимых с помощью существующих механических средств, оптическая система может рассматриваться как пространственно инвариантная система обработки информации. Поэтому параллельный перенос детали на входе системы будет сказываться лишь на положении корреляционного пика и не будет сказываться на величине его амплитуды.

Для обнаружения малых изменений формы детали необходимо измерять распределение энергии в вершине корреляционного пика. Площадь, под которой можно интегрировать энергию, должна быть меньше размера, разрешаемого фотоприемником. Поэтому влияние положения детали на корреляционный отклик будет зависеть от метода, используемого для измерения корреляционного пика.

Здесь наиболее пристального внимания заслуживают три метода и измерения корреляционного сигнала.

1. Корреляционная плоскость регистрируется фотографически и затем исследуется фотометрическими методами. Этот метод обладает высокой точностью измерения, но труден в реализации работы системы контроля в реальном масштабе времени.

2. Корреляционная плоскость анализируется с помощью видикона, решетки фотодиодов или других подобных приборов. Такие приборы, как правило, имеют типичную неравномерность выходного сигнала порядка 10%, тем самым ограничивая их применение в случаях, когда точностные требования не очень высокие (обычно точность линейных размеров детали от 5 до 10% с ошибкой в 1 или 2%).

3. Наиболее точным методом измерения корреляционного пика является метод, в котором деталь устанавливается точно, используется калиброванное отверстие для выделения корреляционного пика и фотоумножитель. В данном методе положение детали на входе системы контроля является критичным. Обычно позиционирование детали здесь должно быть не хуже 5 мкм, что для некоторых применений может оказаться не выполнимым. Тогда необходимо использовать сканирование отверстия колеблющимся зеркалом. Если деталь смещается только оси Х со скоростью , то достаточным будет одномерное сканирование вдоль оси Y. Связь между скоростью , частотой сканирования и диаметром отверстия находится из соотношения , где коэффициент, зависящий от требуемой точности контроля, и его можно определить по экспериментальной кривой, описывающей изменение выходного сигнала от положения детали на входе системы контроля.

Пример поведения зависимости автокорреляционного отклика при контроле прямоугольного отверстия от его положения на входе системы контроля без сканирования и со сканированием показан на рис.12. Видно, что использование сканирования выходной плоскости системы контроля существенно упрощает дальнейшую обработку корреляционного отклика.

Требования к ориентации детали являются еще более жесткими. Точное согласование углового положения детали и фильтра может быть достигнуто путем их вращения. Выполнение такой операции возможно в реальном масштабе времени, но при этом, естественно, снижается производительность контроля. Необходимо отметить, что требования к точности позиционирования детали не удается ослабить за счет придания фильтру специфических свойств. Попытка решения этой проблемы с помощью инверсного фильтра, передаточная характеристика которого была промодулирована функцией плотности вероятности входного положения контролируемого изделия, не привела к желаемому успеху [14]. Действительно, если обозначить плотность вероятности положения входа через , то передаточная функция согласованного фильтра запишется как

,                                              (34)

где — фурье-спектр от функции . Такая функция может оказаться однородной в ограниченной области и равной нулю за ее пределами.

Отклик такого фильтра на деталь в виде запишется как

.                                                   (35)

Дополнительная свертка с функцией размазывает корреляционный пик по некоторой площади выходной плоскости системы контроля. Результатом такого расширения корреляционного пика является уменьшение амплитуды выходного сигнала. Кроме того, из выражений (34) и (35) следует, что ослабление требований к позиционированию детали достигается при условии и близкой к функции Дирака. Поэтому при оптимизации кривой отклика функция зрачка не может быть выбрана произвольно.

Точность установки фильтра.

Наиболее критичным элементом системы контроля является пространственный фильтр. Стабильность системы к механическим воздействиям должна быть такой, чтобы обеспечивалось точное согласование положений входного спектра пространственных частот и фильтра. Это особенно важно в тех случаях, когда необходимо последовательно обращаться к большому числу пространственно разделенных фильтров либо с применением дефлектора, либо путем перемещения фильтра. Требуемая точность установки фильтра оценивается по размеру разрешаемого элемента в спектральной плоскости, т.е. должна быть не хуже [4]

,                                                                                        (36)

где линейный размер детали, фокусное расстояние линзы, длина волны света.

Так, при типичных значениях мкм, мм и мм получаем мкм. Обычно рекомендуемая точность установки фильтра составляет примерно несколько микрометров, что легко достигается прецизионным механическим перемещением или за счет использования дефлектора.

Введение,
Части 1 и 2

Часть 3

Части 4 и 5

Часть 6

Часть 7, Выводы,
Литература