ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. eISSN 1684-1719. 2024. №11
Текст статьи (pdf)
DOI: https://doi.org/10.30898/1684-1719.2024.11.9
УДК: 620.3
Спектральный отклик
единичной нанопроволоки ZnO
М.В. Евстафьева1, А.В. Зотов1, А.В. Иржак1,2, В.В. Коледов2,
А.П. Орлов2, А.В. Прокунин2, С.В. Фон Гратовски2, П.В. Лега2,
И.И. Мусабиров3, Д.А. Винник4, В.И. Корепанов1
1 Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
142432, Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, 62 Институт радиоэлектроники им. В.А. Котельникова РАН
125009, Москва, ул. Моховая, 11, корп.73 Институт проблем сверхпластичности металлов РАН
450001, Уфа, ул. Степана Халтурина, 394 Московский физико-технический институт
(национальный исследовательский университет)
141701, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский переулок, д.9.
Статья поступила в редакцию 18 ноября 2024 г
Аннотация. Миниатюризация приборов на одномерных полупроводниковых нанокристаллах актуальна для высокочастотных приложений, фотоники, различных датчиков. Оксид цинка, один из активно изучаемых для таких целей материалов, может быть получен несколькими технологиями. Из них газофазное осаждение отличается низкой степенью дефектности получаемых структур. Целью данной работы было изготовление тестового прибора на единичном нанокристалле ZnO методами наноманипулирования и изучение его спектрального отклика в диапазоне от ближнего ИК до УФ. Поскольку одно из перспективных применений ZnO – датчики на УФ излучение, задачей было проверить селективность отклика на диапазон длин волн ниже 400 нм.
Ключевые слова: наноманипулирование, ZnO, полупроводники, датчики.
Финансирование: Министерство науки и высшего образования Российской Федерации в рамках соглашения 075-15-2024-560 от 25.04.2024
Автор для переписки: Корепанов Виталий Игоревич, korepanov@iptm.ru
Литература
1. Н.И. Ползикова, С.Г. Алексеев, В.А. Лузанов, and А.О. Раевский, “Резонансная спиновая накачка в акустическом СВЧ-резонаторе со структурой ZnO-ГГГ-ЖИГ/Pt,” // Изв. РАН. Сер. физ., vol. 83, no. 7, pp. 910–913, 2019, http://dx.doi.org/10.1134/S0367676519070329.
2. V. Vasanthi, N. Sivanantham, L. Saathvika, and N. Gopalakrishnan, “Metal oxide charge transport materials for light emitting diodes - An overview,” // Materials Science in Semiconductor Processing, vol. 165, p. 107679, Oct. 2023, http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107679.
3. B. Yang, N. V. Myung, and T. Tran, “1D Metal Oxide Semiconductor Materials for Chemiresistive Gas Sensors: A Review,” // Adv Elect Materials, vol. 7, no. 9, p. 2100271, Sep. 2021, http://dx.doi.org/10.1002/aelm.202100271.
4. D. Nunes et al., “Metal oxide nanostructures for sensor applications,” // Semicond. Sci. Technol., vol. 34, no. 4, p. 043001, Apr. 2019, http://dx.doi.org/10.1088/1361-6641/ab011e.
5. Y. Zou, Y. Zhang, Y. Hu, and H. Gu, “Ultraviolet Detectors Based on Wide Bandgap Semiconductor Nanowire: A Review,” // Sensors, vol. 18, no. 7, p. 2072, Jun. 2018, http://dx.doi.org/10.3390/s18072072.
6. H. Palneedi et al., “Laser Irradiation of Metal Oxide Films and Nanostructures: Applications and Advances,”// Advanced Materials, vol. 30, no. 14, p. 1705148, Apr. 2018, http://dx.doi.org/10.1002/adma.201705148.
7. A.N. Gruzintsev, A.N. Red’kin, Z.I. Makovei, E.E. Yakimov, and C. Barthou, “Random lasing in vertical ZnO nanorods,” // Semiconductors, vol. 41, no. 6, pp. 708–712, 2007, http://dx.doi.org/10.1134/S1063782607060188.
8. M.A. Khaderbad et al., “Electrical actuation and readout in a nanoelectromechanical resonator based on a laterally suspended zinc oxide nanowire,” // Nanotechnology, vol. 23, no. 2, p. 025501, Jan. 2012, http://dx.doi.org/10.1088/0957-4484/23/2/025501.
9. А. Редькин, М. Рыжова, Е. Якимов, and А. Грузинцев, “Упорядоченные массивы наностержней оксида цинка на кремниевых подложках,” // Физика и техника полупроводников, vol. 47, no. 2, p. 216, 2013.
10. P. Lega et al., “Composite Materials Based on Shape‐Memory Ti2NiCu Alloy for Frontier Micro‐ and Nanomechanical Applications,” // Adv Eng Mater, vol. 19, no. 8, p. 1700154, Aug. 2017, http://dx.doi.org/10.1002/adem.201700154.
Для цитирования:
Евстафьева М.В., Зотов А.В., Иржак А.В., Коледов В.В., Орлов А.П., Прокунин А.В., Фон Гратовски С.В., Лега П.В., Мусабиров И.И., Винник Д.А., Корепанов В.И. Спектральный отклик единичной нанопроволоки ZnO. // Журнал радиоэлектроники. 2024. – № 11. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2024.11.9