УДК 539.371, 538.911

ДВУСЛОЙНЫЙ КОМПОЗИТ НА ОСНОВЕ МАТЕРИАЛА С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ ФОРМЫ, ПОЛУЧЕННЫЙ ПРИ ПОМОЩИ НАПРАВЛЕННОЙ АМОРФИЗАЦИИ ИОННЫМ ПУЧКОМ

 

В. С. Афонина¹, В. В. Коледов¹, В. Г. Шавров¹, В. А. Дикан², А. В. Иржак^2,3, А. П. Каманцев¹
1 - Институт радиотехники и электроники имени В.А. Котельникова РАН
2 - Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»
3 - Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН

 Статья получена 15 января 2015 г.

Аннотация. Исследовано воздействие высокоэнергетичным фокусированным пучком ионов Ga⁺ на поверхность отожженных быстрозакаленных из расплава (БЗР) лент Ti₂NiCu. Получены аморфно-кристаллические композиты на основе материала с ЭПФ при помощи локального ионного облучения. Продемонстрировано, что аморфизованный слой может быть образован двумя видами воздействия - непосредственно бомбардировкой поверхности и при переосаждении распыленного материала. Созданы образцы композитных микроактюаторов методом модификации поверхности БЗР сплава высокоэнергитичным фокусированным пучком ионов. Продемонстрирована обратимая деформация микроактюаторов при нагреве и охлаждении, характерная для материалов с ЭПФ.

Ключевые слова: эффект памяти формы, двуслойный композит, аморфизация, Ti₂NiCu, микроактюатор, фокусированный ионный пучок.

Abstract. The interaction of a focused ion beam of Ga⁺ with the  surface of the annealed rapidly quenched from the melt ribbons of the Ti2NiCu alloys was investigated. The amorphous-crystalline composites and microactuators based on rapidly quenched shape memory alloy Ti₂NiCu are obtained by Focused Ion Beam (FIB) treatment and studied. It is demonstrated that the amorphized layer may be formed by two types of impact: direct bombardment of the surface and material redeposition. Shape memory effect is demonstrated by reversible bending deformation during heating and cooling of the composites.

Key words: shape memory effect, bilayer composite, amorphization, Ti₂NiCu, microactuator, focused ion beam.