МЕХАНИЗМЫ ВОЗДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ НА ПРОВОДЯЩИЕ ПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ МИКРОСХЕМ

 

С. П. Арсеничев, Е. В. Григорьев, С. А. Зуев, В. В. Старостенко, Е. П. Таран

Таврический университет имени В.И. Вернадского

Статья получена 28 апреля 2014 г.

Аннотация. В работе рассмотрены и систематизированы механизмы воздействия электромагнитных полей на проводящие структуры интегральных микросхем. Выявлены особенности развития деградационных процессов в тонких пленочных структурах. Получены значения толщин проводящих пленок, при которых наблюдается процесс преобразования энергии ЭМП в акустические волны.

Ключевые слова: проводящие пленочные структуры, механизмы воздействия, преобразование энергии.

Abstract. The influence mechanisms of the electromagnetic fields are in-process considered and systematized on the conducting structures of integral microcircuits. The features of development of degradation processes are educed in thin film structures. The values of thicknesses of conducting films at that there is a process of transformation of energy of the electromagnetic field in acoustic waves are got.

Keywords: conducting film structures, influence mechanisms, transformation of energy.