Оценка оптической предельной чувствительности титановых наноболометров-сенсоров на краю сверхпроводникового перехода с разогревом электронного газа

А. Н. Выставкин, А. Г. Коваленко, И. А. Кон, А. С. Ильин, С. В. Шитов, О. В. Корюкин, А. В. Уваров

Институт радиотехники и электроники им. В.А.Котельникова РАН

 

Получена 9 сентября 2012 г.

 

Аннотация. В настоящей работе рассмотрены разные способы формирования микроструктур из сверхпроводниковых пленок титана. Выявлен оптимальный, с точки зрения воспроизводимости точки сверхпроводникового перехода, режим формирования этих структур. Измерены вольтамперные характеристики и зависимости сопротивления от температуры изготовленных образцов с применением чернотельного излучателя, нагреваемого до разных температур. Из сопоставления характеристик была оценена предельная чувствительность болометра, который может быть создан с использованием предлагаемой технологии.

Ключевые слова: Сверхпроводниковая микроэлектроника, сенсор на краю перехода, горячие электроны.

Abstract. The paper considers different superconducting titanium microstructures fabrication technology methods. An optimal method, in terms of superconducting transition point reproducibility, has been developed. IV curves and resistance temperature dependences were measured with different blackbody radiation source temperatures. The dependencies comparison allowed to estimate the noise equivalent power of a bolometer, fabricated using the proposed technology.

Keywords: Superconducting microelectronics, transition edge sensor, hot electrons.