c1.gif (954 bytes) "ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"  N 1, 2000 оглавление

  текст

дискуссия

c2.gif (954 bytes)

ПРИМЕНЕНИЕ РЕЗОНАТОРА ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

О.Г.Кошелев, Е.А.Форш,
Физический факультет Московского Государственного университета им. М.В. Ломоносова

Получена 27 января 2000 г.

Рассмотрен метод определения зависимости проводимости высокоомной полупроводниковой пластины от расстояния до ее поверхности. Расчеты на компьютере в одномерном приближении показали, что эта обратная задача может быть решена путем измерений добротностей открытого конфокального резонатора. Эти измерения должны проводиться на нескольких частотах при четырех положениях пластины в области перетяжки пучка в резонаторе.

c3.gif (955 bytes) xxx c4.gif (956 bytes)