УДК 539.219.3:669
АСИММЕТРИЗАЦИЯ ФОРМЫ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ В ДЕЛЬТА-ЛЕГИРОВАННОЙ ОБЛАСТИ В
ПРОЦЕССЕ ЕЕ ЗАРАЩИВАНИЯ
Е.Л. Панкратов
Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород
Получена 4 января 2007 г.
С помощью предложенного
в настоящей работе "макроподхода" проведен анализ динамики примеси в дельта -
легированной области многослойной структуры в процессе ее заращивания покровным
слоем. Проиллюстрированы причины систематически регистрируемой экспериментально
асимметризации, не выявленные ранее при анализе перераспределения примеси в
дельта-легированной области с помощью обычно используемого в литературе "микроподхода".
На примере конкретных материалов многослойной структуры, дельта- и покровного
слоев получена оценка уширения дельта-слоя.