КОГЕРЕНТНАЯ ВОЛНОВОДНАЯ ОПТИЧЕСКАЯ
МИКРОСКОПИЯ СТАТИСТИЧЕСКИХ МИКРООБЪЕКТОВ
А. А. Егоров
Получена 20 июня 2007 г.
Описан метод когерентной волноводной оптической
микроскопии, основанный на явлении волноводного рассеяния света. Возможности
метода продемонстрированы на компьютерной модели. Показано, что разработанный
автором алгоритм позволяет определить радиусы корреляции эффективной неровности
поверхности размером λ/60–15λ с ошибкой не более 5–25%,
а соответствующую среднеквадратичную высоту 25–150 Å с ошибкой менее
5–35%. Показано, что метод волноводного рассеяния позволяет получить
статистическую информацию за одно измерение с достаточно большой площади
поверхности (объема) с существенным превышением дифракционного предела, т.е.
позволяет перейти в нанометровый диапазон.