УДК 539.219.3:669
ВЛИЯНИЕ НЕПОСТОЯНСТВА
КОЭФФИЦИЕНТА ДИФФУЗИИ И РАСТВОРИМОСТИ ПРИМЕСИ В МНОГОСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЕ НА
РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСИ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ В НЕЙ ДИФФУЗИОННОГО p-n-ПЕРЕХОДА. ОПТИМИЗАЦИЯ ДЛИТЕЛЬНОСТИ
ОТЖИГА.
Е.Л. Панкратов
Институт физики
микроструктур РАН,
Нижний Новгород
Получена 21 февраля 2007 г.
С помощью предложенного в настоящей работе развития
разработанной ранее методики анализа массо- и теплопереноса (см., например,
[1,2]) проведен анализ динамики перераспределения примеси в многослойной
полупроводниковой структуре с учетом временной и концентрационной зависимости
коэффициента диффузии и растворимости примеси. Проиллюстрировано, что правильно
выбранное пространственное распределение свойств твердотельной структуры
позволяет увеличить резкость сформированного в ней диффузионного p-n-перехода,
а также равномерность распределения примеси в обогащенной ею области. Обобщены
полученные в [2] условия для одновременного увеличения резкости диффузионного p-n-перехода
и равномерности распределения в нем примеси. Рассмотрена методика оптимизации
длительности отжига для данных целей.