Электрические измерения тонкопленочных ниобиевых микроструктур для неохлаждаемых болометров миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн

 

А. В. Уваров, А. А. Кузьмин, С. В. Шитов, А. Г. Коваленко

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

 

Получена 24 февраля 2011 г.

 

Аннотация:  Предложено использовать комнатный ниобиевый болометр для электродинамического замещения криогенного приемника в интегральной антенной структуре с целью проведения натурных измерений по исследованию свойств и настройке квазиоптических систем высокочувствительных приемников миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн. Разработана технология изготовления, изготовлены и изучены свойства опытных образцов болометров, на основе тонкопленочного ниобия.

Ключевые слова: ниобиевый болометр, миллиметровый и субмиллиметровый диапазон длин волн, интегральная иммерсионная линзовая антенна, электронно-лучевая литография.

Abstract: We report the fabrication technology and investigation of room temperature niobium micro bolometer for electrodynamic substitution of cryogenic detector in integrated immersion lens antennas to study their radiation patterns, properties and configuration of quasi-optical systems.

Key words: niobium bolometer millimeter and sub millimeter wavelengths, the integrated immersion lens antenna, electron-beam lithography.