Высокотемпературная обработка тонких фольг функционального сплава Гейслера Ni46Mn41In13 для микросистемных устройств и электроники

Кузнецов, Д. Д.; Кузнецова, Е. И.; Данилов, Д. В.; Мусабиров, И. И.; Прокунин, А. В.; Коледов, В. В.; Шавров, В. Г.

doi:10.30898/1684-1719.2024.4.9

Д.Д. Кузнецов¹, Е.И. Кузнецова², Д.В. Данилов³, И.И. Мусабиров⁴, А.В. Прокунин¹, В.В. Коледов¹, В.Г. Шавров¹

Аннотация

В работе исследуется высокотемпературное превращение в тонкой фольге нестехиометрического сплава Гейслера на основе Ni-Mn-In. Высокоупорядоченная кубическая L2₁ фаза подвергается при нагревании разложению с образованием фазы с составом, близким к Ni₇₅Mn₂₅, которая идентифицирована как неупорядоченная ГЦК-Ni₃Mn и вторичных фаз, в основном, оксидов и сульфидов марганца. Все фазы, формирующиеся при нагревании до температуры 1173 К, сохраняются в ходе эксперимента по охлаждению in-situ до температуры 123 К.

фазовое превращение
фазовая стабильность
размерные эффекты

Abstract (in English)

High-temperature treatment of functional Heusler alloy Ni₄₆Mn₄₁In₁₃ thin foils for microsystem devices and electronics

In this study, the high-temperature transformation in a thin foil of non-stoichiometric Heusler alloy based on Ni-Mn-In is investigated using in-situ TEM. The highly ordered cubic L2₁ phase undergoes decomposition upon heating, forming a phase with a composition close to Ni₇₅Mn₂₅, which is identified as disordered FCC-Ni₃Mn and secondary phases, mainly manganese oxides and sulfides. All phases formed upon heating to a temperature of 1173 K are preserved during the in-situ cooling experiment to a temperature of 123 K.

Для цитирования

Кузнецов Д.Д., Кузнецова Е.И., Данилов Д.В., Мусабиров И.И., Прокунин А.В., Коледов В.В., Шавров В.Г. Высокотемпературная обработка тонких фольг функционального сплава Гейслера Ni46Mn41In13 для микросистемных устройств и электроники // Журнал радиоэлектроники. – 2024. – № 4. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2024.4.9