ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН English Войти Подать статью
Журнал радиоэлектроники Электронный научный журнал · eISSN 1684-1719
2007, № 1 · ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА

Асимметризация формы распределения примеси в дельта-легированной области в процессе ее заращивания

Е.Л. Панкратов1

1 Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия
Полный текст УДК 539.219.3:669 EDN KUIBPP

Аннотация

С помощью предложенного в настоящей работе "макроподхода" проведен анализ динамики примеси в дельта - легированной области многослойной структуры в процессе ее заращивания покровным слоем. Проиллюстрированы причины систематически регистрируемой экспериментально асимметризации, не выявленные ранее при анализе перераспределения примеси в дельта-легированной области с помощью обычно используемого в литературе "микроподхода". На примере конкретных материалов многослойной структуры, дельта- и покровного слоев получена оценка уширения дельта-слоя.

Для цитирования

Панкратов Е.Л. Асимметризация формы распределения примеси в дельта-легированной области в процессе ее заращивания // Журнал радиоэлектроники. – 2007. – № 1.

Литература

  1. Schubert E.F. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1990. V. 8. № 3. P. 2980.
  2. Nazmul A.M., Sugahara S., Tanaka M. // Journal of the crystal growth. 2003. V.251. P. 303.
  3. Li G., Jagadish C. // Solid-State Electronics. 1997. V. 41, №9. P. 1207.
  4. Шашкин В.И., Мурель А.В., Данильцев В.М., Хрыкин О.И. // ФТП. 2002. T. 36. №5. С. 537.
  5. Васильев В.К., Васильева Ю.В., Данилов Ю.А., Звонков Б.Н.// Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2004. №4. С32.
  6. Ni W.-X., Hansson G.V., Sundgren J.-E. et al. // Phys. Rev. B. 1992. V. 46. P. 7551.
  7. Готра З.Ю. Справочник. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1991.
  8. Grebene A.B. Bipolar and MOS analogous integrated circuit design. New York: John Wyley and Sons, 1983.
  9. Тихонов А.Н., Самарский А.А. Уравнения математической физики. М.: Наука, 1972.
  10. Соколов Ю.Д. // Прикладная механика. 1955. Т. 1. С. 23.
  11. Панкратов Е.Л. // Изв. вузов ПНД. 2004. T. 12. №3. C. 35.
  12. Pankratov E.L. // Phys. Rev. B. 2005. V. 72. №7. P. 075201.
  13. Хлудков С.С., Корецкая О.Б. // Известия вузов. Физика. 1985. Т. 28. № 1. С. 107.
  14. Данилов Ю.А., Круглов А.В., Питиримова Е.А. и др. // Изв. РАН. Серия физическая. 2004. Т. 68. №1. С. 65.
  15. Малахов А.Н., Панкратов Е.Л. // Известия вузов. Радиофизика. 2001. Т. 44. №4. С. 367.
  16. Coffey W.T., Crothers D.F.S., Kalmykov Yu.P. // Physical Review E 1997. V. 55. N 4. P. 4812