ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. eISSN 1684-1719. 2026. №7

УДК: 539.2, 534.1, 621.792

Лабораторная технология микроманипулирования
с использованием микропинцета с эффектом памяти
формы для создания подвешенных микроструктур
на основе вискеров функциональных материалов

С.Р. Романов¹, В.В. Коледов¹, М.В. Никитин¹, А.П. Орлов¹, В.Я. Покровский¹,
А.В. Шеляков², Д.А. Хачатрян², А.В. Клецов², А.К. Погорелов²

¹ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
125009, Москва, ул. Моховая, 11, корп.7

²Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»,
115409, Москва, Каширское шоссе, 31

Статья поступила в редакцию 18 июня 2026 г.

Аннотация. Разработана технология манипулирования нитевидными монокристаллами (вискерами) квазиодномерных полупроводников с волной зарядовой плотности (КОП с ВЗП) для создания подвешенных образцов. Создан управляемый током микропинцет на основе композитных лент с эффектом памяти формы (ЭПФ). Разработана методика захвата и фиксации вискеров с помощью микроманипулятора и вольфрамовой иглы, а также метод формирования контактов с использованием переносимой микропинцетом «маски» и последующего напыления металла. На изготовленном подвешенном образце методом гетеродинирования обнаружены и исследованы резонансные моды высокочастотных электромеханических колебаний вискера TaS₃.

Ключевые слова: микроманипулирование, микропинцет, квазиодномерные полупроводники, эффект памяти формы, волна зарядовой плотности, электромеханические колебания.

Финансирование: Работа выполнена за счет средств Госзадания ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН.

Автор для переписки: Романов Сергей Романович, romanov_sr@bk.ru

Литература

1. Покровский В. Я., Зыбцев С. Г., Никитин М. В. и др. Высокочастотные, квантовые и электромеханические эффекты в квазиодномерных кристаллах с волной зарядовой плотности // Успехи физических наук. – 2013. – Т. 183. – №. 1. – С. 33–54.

2. Bellino M. G., Calvo E. J., Gordillo G. J. Nanowire manipulation on surfaces through electrostatic self‑assembly and magnetic interactions // Physica status solidi (RRL) – Rapid Research Letters. – 2009. – Т. 3. – №. 1. – С. 1–3.

3. Llerena Zambrano B. et al. Magnetic manipulation of nanowires for engineered stretchable electronics // ACS Nano. – 2021. – Т. 16. – №. 1. – С. 837–846.

4. Fan D. L. et al. Electric tweezers // Nano Today. – 2011. – Т. 6. – №. 4. – С. 339–354.

5. Никитин А. В., Фролов А. В., Орлов А. П. и др. Воздействие одноосного растяжения на нелинейную проводимость и структурная перестройка волны зарядовой плотности в TaS₃ ниже азотной температуры // Радиотехника и электроника. – 2020. – Т. 65. – №. 10. – С. 1001–1007.

6. Pokrovskii V. Y., Nikitin M. V., Zybtsev S. G. Self‑detection of mechanical oscillations of charge‑density wave conductors // Physica B: Condensed Matter. – 2015. – Т. 460. – С. 39–44.

7. Thorne R. E., Lyons W. G., Lyding J. W., Tucker J. R. Charge‑density‑wave transport in quasi‑one‑dimensional conductors. I. Current oscillations // Physical Review B. – 1987. – Т. 35. – №. 12. – С. 6348.

8. Pokrovskii V. Y., Zybtsev S. G., Gorlova I. G. Torsional strain of TaS₃ whiskers on the charge‑density wave depinning // Physical Review Letters. – 2007. – Т. 98. – №. 20. – С. 206404.

9. Иржак А. В., Захаров Д. И., Калашников В. С. и др. Актюаторы на основе композитного материала с эффектом памяти формы // Радиотехника и электроника. – 2010. – Т. 55. – №. 7. – С. 874–886.

Для цитирования:

Романов С.Р., Коледов В.В., Никитин М.В., Орлов А.П., Покровский В.Я., Шеляков А.В., Хачатрян Д.А., Клецов А.В., Погорелов А.К. Лабораторная технология микроманипулирования с использованием микропинцета с эффектом памяти формы для создания подвешенных микроструктур на основе вискеров функциональных материалов. // Журнал радиоэлектроники. – 2026. – №. 7. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2026.7.11