ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. eISSN 1684-1719. 2024. №6
Текст статьи (pdf)
DOI: https://doi.org/10.30898/1684-1719.2024.6.10
УДК: 621.377.22
О возможности создания эффективных устройств
на поверхностных акустических волнах
Сучков С.Г., Николаевцев В.А., Сучков Д.С.
СГУ имени Н.Г. Чернышевского
410012, г. Саратов, ул. Астраханская, 83
Статья поступила в редакцию 6 апреля 2024 г.
Аннотация. В работе исследовано взаимодействие поверхностных акустических волн (ПАВ) с отражателями и встречно-штыревыми преобразователями (ВШП) с электродами с высоким аспектным отношением (ВАО-электродами). Установлены условия резонансного отражения и прохождения ПАВ через отражатель и эффективного преобразования ВШП мощности ПАВ в электрическую мощность на нагрузке. Показана реальная возможность создания эффективных устройств на ПАВ (фильтры, линии задержки, резонаторы, радиочастотные идентификационные метки) на частотах свыше 6 ГГц (до 12-15 ГГц) с применением ВАО-электродов.
Ключевые слова: акустоэлектроника, поверхностная акустическая волна, электроды с высоким аспектным отношением, радиочастотные идентификационные метки на ПАВ, линии задержки на ПАВ, резонаторы на ПАВ, фильтры на ПАВ.
Автор для переписки: Николаевцев Виктор Андреевич, nikolaevcev@ya.ru
Литература
1. Ю.B. Гуляев, С.Г. Сучков, С.С. Янкин, С.А. Никитов, Д.С. Сучков, В.П. Плесский. Радиочастотная идентификационная метка на поверхностных акустических волнах в диапазоне частот 6 ГГц // Радиотехника и электроника, 2015, Т. 60, № 4, c. 429-432. https://doi.org/10.7868/S0033849415040087
2. K. Yamanouchi, J.A. Qureshi, H. Odagawa. 5-15 GHz Range Surface Acoustic Wave Filters Using Electrode Thickness Difference Type And New Reflector Bank Type Of Unidirectional Interdigital Transducers. // Proceedings of the Ultrasonics Symposium, P. 61–64, 1997. https://doi.org/10.1109/ULTSYM.1997.662980
3. M.A. Mohammad, J. Conway, B. Liu, Y. Yang, T.-L. Ren. High Performance Lithium Niobate Surface Acoustic Wave Transducers In The 4–12 Ghz Super High Frequency Range // Journal of Vacuum Science and Technology B, V. 33, P. 06F401, 2015. https://doi.org/10.1116/1.4935561
4. A. Badar, A. Dow, C. Popov, U. Schmid, N.P. Kheran. Super-High-Frequency SAW Transducer Utilizing AlN/Ultrananocrystalline Diamond Architectures // IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, V. 60, №. 8, P. 1581-1586, 2013. https://doi.org/10.1109/TUFFC.2013.2738
5. N.-H. Chen, J.-C. Huang, C.-Y. Wang, F.-S. Huang. Fabrication Of A GHz Band Surface Acoustic Wave Filter By UV-Nanoimprint With An HSQ Stamp // Journal of Micromechanics and Microengineering, V. 21, P.045021, 2011. https://doi.org/10.1088/0960-1317/21/4/045021
6. С.Г. Сучков, С.С. Янкин, С.А. Никитов, Ю.А. Шатрова. Рассеяние поверхностных акустических волн на системе топографических неоднородностей, сравнимых с длиной волны // Радиотехника и электроника, 2014, Т. 59, № 4, с. 405-410. https://doi.org/10.7868/S0033849414040123
7. Nanofabrication Techniques Dominique Mailly Laboratoire de Photonique et de Nanostructures Marcoussis // [Электронный ресурс]. URL: https://magnetism.eu/esm/2005-constanta/slides/mailly-slides.pdf
8. S. Huang, C. Huard, S. Shim, S.K. Nam, I.-C. Song, S. Lu, M.J. Kushner. Plasma Etching Of High Aspect Ratio Features In SiO2 Using Ar/C4F8/O2 Mixtures: A Computational Investigation // Journal of Vacuum Science and Technology A, V. 37, P. 031304, 2019. https://doi.org/10.1116/1.5090606
9. С.Г. Сучков, Д.А. Баринов. Анизотропия упругих свойств тонких металлических пленок и её влияние на характеристики устройств на ПАВ // Радиотехника и электроника, 2002, Т. 47, №4, с. 510-512.
10. The AC/DC Module User's Guide // [Электронный ресурс]. URL: https://doc.comsol.com/5.4/doc/com.comsol.help.acdc/ACDCModuleUsersGuide.pdf
11. Акустоэлектронные устройства обработки и генерации сигналов. Принципы работы, расчета и проектирования / под ред. Ю.В.Гуляева. – М.: Радиотехника, 2012. – 571 с.
12. Физические величины. Справочник / ред. И. С. Григорьев, Е. З. Мейлихов. – М.: Энергоиздат, 1991. – 1231 с.
13. С.Г. Сучков, С.А. Никитов, А.А. Пиловец, С.В. Комков, В.А. Николаевцев, А.Н. Литвиненко, Д.С. Сучков. Многодиапазонная радиочастотная метка на поверхностных акустических волнах для антиколлизионных систем идентификации // Журнал радиоэлектроники: электронный журнал. 2016, N12. URL: http://jre.cplire.ru/jre/dec16/5/text.pdf
14. V. Plessky, L. Reindl. Review on SAW RFID Tags // IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, V. 57. No. 3. P. 654-668, 2010. https://doi.org/10.1109/TUFFC.2010.1462
Для цитирования:
Сучков С.Г., Николаевцев В.А., Сучков Д.С. О возможности создания эффективных устройств на поверхностных акустических волнах на частотах выше 6 ГГц // Журнал радиоэлектроники. – 2024. - №. 6. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2024.6.10