|
|
"ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ" N 3, 2005 | оглавление |
|
Тестирование двухслойных структур молибден-медь
А.Г. Коваленко
Институт радиотехники и электроники РАН
При изготовлении двухслойных структур «молибден-медь» с целью исследования сверхпроводникового фазового перехода при сверхнизких температурах (50 мК – 1,0 К) в таких структурах и оценки чувствительности болометров на их основе [1-4] возникает необходимость измерения с высокой точностью толщины и формы поверхности слоев и двухслойной структуры в целом.
В работе описана методика измерений на основе профилометра “ALPHA-STEP 200” фирмы KLA-Tencor.
Для выборочного контроля поверхности слоев образцы исследовались на микроскопе атомных сил Solver P47 H и на растровом электронном микроскопе JEOL –6460. Эти исследования показали, что и пленка молибдена, и двухслойная структура – сплошные и достаточно гладкие.
 |
оглавление |  |