ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. eISSN 1684-1719. 2026. №5

УДК: 535-14;537.67

ОПТИЧЕСКИ-УПРАВЛЯЕМЫЕ МЕТА-ДИПОЛИ
(МИНИ-РЕЗОНАТОРЫ С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ВКЛЮЧЕНИЯМИ)
ДЛЯ ЭКСПРЕСС-ТЕСТОВ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ

Г.А. Крафтмахер, В.С. Бутылкин, П.С. Фишер

ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал,
141120, Московская область, г. Фрязино, пл. академика Введенского, д.1

Статья поступила в редакцию 27 апреля 2026 г.

Аннотация. Предложен и экспериментально исследован в ГГц-диапазоне экспресс-метод идентификации динамических характеристик фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости полупроводников в зависимости от мощности оптического внешнего воздействия, востребованный в управляемой микроэлектронике в связи с разнообразием полупроводников и источников фотооблучения в условиях развития новых технологий. Метод основан на применении мета-диполей (мини-резонаторов), представляющих собой киральную многозаходную медную спираль, которые позволяют фиксировать небольшие изменения фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости полупроводникового включения (произвольной формы и размеров) измерениями в ГГц-диапазоне изменений глубины и частоты резонанса при фотооблучении в зависимости от мощности облучения на фоне частотной зависимости прохождения микроволн вне резонанса. В качестве источника облучения используется галогеновая лампа и набор светофильтров для выявления оптимальной длины волны фотооблучения. Метод апробирован с базовыми высокоомными полупроводниками GaAs, Si, CdS, CdSe.

Ключевые слова: микроволны, полуволновые мета-диполи (мини-резонаторы), полупроводник, фотоиндуцированная диэлектрическая проницаемость, галогеновая лампа, светофильтры, фотооблучение.

Финансирование: Работа выполнена за счет бюджетного финансирования в рамках государственного задания ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, № 075-00395-25-00.

Автор для переписки: Крафтмахер Галина Ароновна, gaarkr139@mail.ru

Литература

1. Крафтмахер Г.А., Бутылкин В.С., Казанцев Ю.Н., Мальцев В.П., Фишер П.С. Трансформация микроволновых резонансных свойств метаструктур с CdS и CdSe при одно- и двухфотонном возбуждении // Письма в ЖЭТФ.– 2021. – Т.114. –№9. – С.586. https://doi.org/10.31857/S1234567821210023

2. Крафтмахер Г.А., Бутылкин В.С., Фишер П.С. Оптически- и магнитоуправляемые метадиполи на СВЧ// Физика твердого тела. – 2025. – Т.67. – Вып.1. – С.31. https://doi.org/10.61011/FTT.2025.01.59765.6-25

3. Каценеленбаум Б.З., Коршунова Е.Н., Сивов А.Н., Шатров А.Д. Киральные электродинамические объекты. // Успехи физических наук. – 1997. – Т.167. – №.11. – С.1201. https://doi.org/10.3367/UFNr.0167.199711c.1201

4. Kittel Charles. Theory of Solids, 1963. Willey. P. 435.

5. Бутылкин В.С., Крафтмахер Г.А, Фишер П.С. Не-друдеподобное поведение фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости GaAs и Si в гигагерцовом диапазоне частот. // Поверхность. рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования − 2024 − Т. − №1 – С.41-47. https://doi.org/10.31857/S1028096024010062 . EDN: DPGUGQ

6. Бутылкин В.С., Фишер П.С., Крафтмахер Г.А., Казанцев Ю.Н., Каленов Д.С., Мальцев В.П., Пархоменко М.П. Фотоиндуцированная микроволновая диэлектрическая проницаемость полупроводников: экситонный механизм // Радиотехника и электроника. – 2023. –Т.68. – №.2. – С. 152-156. https://doi.org/10.31857/S003384942302002X

7. Казанцев Ю.Н., Крафтмахер Г.А. Прозрачные металлические пленки в СВЧ. Отклонение от двумерной модели. // Физика металлов и металловедение. 1989. Т. 67, вып. 5. С. 902.

Для цитирования:

Крафтмахер Г.А, Бутылкин В.С., Фишер П.С. Оптически-управляемые мета-диполи (мини-резонаторы с полупроводниковыми включениями) для экспресс-тестов в микроэлектронике. // Журнал Радиоэлектроники. – 2026. – №. 5. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2026.5.6