ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. eISSN 1684-1719. 2024. №9

УДК: 537.533

ПОЛЕВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
МОЛЕКУЛЯРНО-НАПЫЛЕННОГО ОКСИДНОГО ТЕРМОКАТОДА

Лобанов В.М.¹, Будзинский Ю.А.², Шешин Е.П.¹,
Жабин Г.А.², Лобанов С.В.¹, Чадаев Н.Н.¹

¹Московский физико-технический институт
(национальный исследовательский университет),
141700, Долгопрудный, Московской обл., Институтский пер., 5

²НПП «Исток» им. А.И. Шокина,
141190, Фрязино, ул. Вокзальная, 2а

Статья поступила в редакцию 24 мая 2024 г.

Аннотация. Представлены результаты исследования эмиссионных характеристик молекулярно-напыленного оксидного термокатода на основе тройного карбоната щелочноземельных металлов с толщиной эмиссионного слоя ~1 мкм в диапазоне рабочих температур 590 ÷ 730 °С. Результаты находятся в хорошем согласии с полученными ранее для оксидного термокатода с толщиной эмиссионного слоя ~100 мкм, наносимого методом пульверизации, и соответствуют модели «пятнистого катода» – суперпозиции эмиссии пятен, находящихся на разных этапах активации. Детализировано представление о явлении активации, протекающем при заданной температуре в некотором интервале значений напряженности электрического поля на поверхности эмиссионных пятен как при повышении, так и при понижении анодного напряжения. Получены энергетические спектры эмитированных электронов отдельного эмиссионного пятна с шириной на полувысоте ~100 мэВ. Измерены величины изменения потенциала эмитирующей поверхности катода в пределах зондируемой области ~0,9 В, и падения потенциала на эмиссионном слое под зондируемой областью ~4,1 В.

Ключевые слова: оксидный термокатод, термоэмиссия, термоактивация, токовая активация, электронная спектроскопия, электронная структура.

Автор для переписки: Лобанов Вячеслав Михайлович, lobanov.vm@mipt.ru

Литература

1. Лобанов В.М., Шешин Е.П., Чадаев Н.Н., Лобанов С.В. Особенности эмиссии и полевая электронная спектроскопия оксидного термокатода. // Журнал радиоэлектроники [электронный журнал]. 2023. №4. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2023.4.6

2. Лобанов В.М., Шешин Е.П., Лобанов С.В., Чадаев Н.Н. Полевая электронная спектроскопия оксидного термокатода. // Журнал радиоэлектроники [электронный журнал]. 2023. №9. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2023.9.11

3. Г.А. Жабин, А.В. Коннов. Влияние способа изготовления мишени (BaSrCa)CO₃ и рабочего газа на эмиссионные свойства молекулярно-напыленных микрокатодов. // Прикладная физика. 2023. № 2. C. 77-83. https://doi.org/10.51368/1996-0948-2023-2-77-83

4. Жабин, Г.А. О технологии изготовления молекулярно-напыленных оксидных катодов с повышенной плотностью тока. // Сборник статей VII Всероссийской научно-технической конференции «Электроника и микроэлектроника СВЧ». Санкт-Петербург. СПбГЭТУ. 2018. С. 182-186. https://mwelectronics.etu.ru/assets/files/2018/1/05_12.pdf

Для цитирования:

Лобанов В.М., Будзинский Ю.А., Шешин Е.П., Жабин Г.А., Лобанов С.В., Чадаев Н.Н. Полевая электронная спектроскопия молекулярно-напыленного оксидного термокатода. // Журнал радиоэлектроники. – 2024. – №. 9. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2024.9.8