УДК 539.219.3:669

АСИММЕТРИЗАЦИЯ ФОРМЫ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ В ДЕЛЬТА-ЛЕГИРОВАННОЙ ОБЛАСТИ В ПРОЦЕССЕ ЕЕ ЗАРАЩИВАНИЯ

Е.Л. Панкратов
Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород

Получена 4 января 2007 г.
 

С помощью предложенного в настоящей работе "макроподхода" проведен анализ динамики примеси в дельта - легированной области многослойной структуры в процессе ее заращивания покровным слоем. Проиллюстрированы причины систематически регистрируемой экспериментально асимметризации, не выявленные ранее при анализе перераспределения примеси в дельта-легированной области с помощью обычно используемого в литературе "микроподхода". На примере конкретных материалов многослойной структуры, дельта- и покровного слоев получена оценка уширения дельта-слоя.