Тестирование двухслойных структур молибден-медь

Аннотация

При изготовлении двухслойных структур «молибден-медь» с целью исследования сверхпроводникового фазового перехода при сверхнизких температурах (50 мК - 1,0 К) в таких структурах и оценки чувствительности болометров на их основе возникает необходимость измерения с высокой точностью толщины и формы поверхности слоев и двухслойной структуры в целом.

Для цитирования

Литература

1. Выставкин А.Н., Дмитриев В.В., Завьялов В.В., Коваленко А.Г., Ковтонюк С.А., Чеботарев А.А. // Радиотехника и электроника, 2003, Т. 48, № 7, С. 874-876.
2. Выставкин А.Н., Коваленко А.Г., Ковтонюк С.А. // Радиотехника и электроника, 2004, Т. 49, № 6, С. 757-760.
3. Vystavkin A.N., Kovtonyuk S.A., Kovalenko A.G. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 2004, V. A 520, P. 289-292.
4. Kovalenko A.G., Kovtonyuk S.A., Vystavkin A.N. // The Proc. of the 5th Intern. Kharkov Symposium on Physics and Engineering of Microwaves, Millimeter and Submillimeter Waves, June 21 -26, 2004, Kharkov, Ukraine, Р. 598-600.
5. Трофимов В.И., Осадченко В.А., Рост и морфология тонких пленок. // Москва, Энергоатомиздат, 1993, 272 с.