Определение характеристик гетероструктур при измерении потенциала поверхности
Аннотация
Работа посвящена измерению потенциала поверхности гетероструктур. Разработан измеритель потенциала поверхности гетероструктур методом динамического зонда Кельвина. Для вибрации измерительного зонда используется пьезоэлектрический вибратор. Работа выхода измерительного зонда составляет 5,0эВ, случайная ошибка измерений - 100 мВ.
- потенциал поверхности
- зонд Кельвина
- гетероструктура
- surface potential
- Kelvin probe
- heterostructure
Abstract (in English)
Study of heterostructures by measuring surface potential
He work is devoted to the measurement of the surface potential of heterostructures. A surface potential meter for heterostructures was developed using the Kelvin dynamic probe method. A piezoelectric vibrator is used to vibrate the measuring probe. The output of the measuring probe is 5.0 eV, random measurement error is 100 mV.
Для цитирования
Бутусов И.Ю., Болдырева Я.А., Попов С.В. Определение характеристик гетероструктур при измерении потенциала поверхности // Журнал радиоэлектроники. – 2019. – № 8. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2019.8.11
Литература
- Бутусов И.Ю., Крячко В.В., Лобов И.Е., Котов В.В. Измерение потенциала поверхности кремниевых пластин в процессе производства БИС. Электронная промышленность. 1994. №4-5. С.104-105.
- Крячко В.В., Бутусов И.Ю., Линник В.Д., Сонов Г.В. Измерение профиля плотности зарядовых состояний на окисленных кремниевых пластинах. Электронная промышленность. 1994. №4-5. С. 109-111.
- Фоменко В.С. Эмиссионные свойства материалов. Справочник. Киев: Наукова думка, 1981г. - 339 с.