Study of heterostructures by measuring surface potential
Abstract
He work is devoted to the measurement of the surface potential of heterostructures. A surface potential meter for heterostructures was developed using the Kelvin dynamic probe method. A piezoelectric vibrator is used to vibrate the measuring probe. The output of the measuring probe is 5.0 eV, random measurement error is 100 mV.
- потенциал поверхности
- зонд Кельвина
- гетероструктура
- surface potential
- Kelvin probe
- heterostructure
Аннотация (на русском)
Определение характеристик гетероструктур при измерении потенциала поверхности
Работа посвящена измерению потенциала поверхности гетероструктур. Разработан измеритель потенциала поверхности гетероструктур методом динамического зонда Кельвина. Для вибрации измерительного зонда используется пьезоэлектрический вибратор. Работа выхода измерительного зонда составляет 5,0эВ, случайная ошибка измерений - 100 мВ.
For citation
Butusov I.I., Boldyreva I.A., Popov S.V. Study of heterostructures by measuring surface potential // Journal of Radio Electronics. – 2019. – No. 8. https://doi.org/10.30898/1684-1719.2019.8.11
References
- Бутусов И.Ю., Крячко В.В., Лобов И.Е., Котов В.В. Измерение потенциала поверхности кремниевых пластин в процессе производства БИС. Электронная промышленность. 1994. №4-5. С.104-105.
- Крячко В.В., Бутусов И.Ю., Линник В.Д., Сонов Г.В. Измерение профиля плотности зарядовых состояний на окисленных кремниевых пластинах. Электронная промышленность. 1994. №4-5. С. 109-111.
- Фоменко В.С. Эмиссионные свойства материалов. Справочник. Киев: Наукова думка, 1981г. - 339 с.