2000, № 4 · МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ В ЗАДАЧАХ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
Анализ рассеивающих свойств несферических частиц в слоистой структуре
1 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Физический факультет, Россия
2 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Россия
Аннотация
Работа посвящена разработке и реализации метода анализа рассеивающих свойств несферических проницаемых частиц, расположенных под поверхностью пленки, нанесенной на подложку. В качестве основы использован метод дискретных источников. Обсуждаются результаты моделирования, связанные с рассеивающими свойствами сфероидальных частиц.
Для цитирования
Еремина Е.Ю., Свешников А.Г. Анализ рассеивающих свойств несферических частиц в слоистой структуре // Журнал радиоэлектроники. – 2000. – № 4.
Литература
- Baliga J. Defect detection on patterened wafers//Semiconductor International. 1997. N4, pp 64-70.
- Еремин Ю.А., Орлов Н.В. Свешников А.Г. Идентификация дефектов силиконовых подложек в устройствах микроэлектроники методом дискретных источников//Электромагнитные волны. 1998. №5. Стр. 34-43.
- Еремина Е.Ю., Свешников А.Г. Анализ рассеяния света частицей внутри слоя на основе метода дискретных источников//Вестник Московского Университета. Сер.3. Физика. Астрономия. 1999. №1. Стр.12-17.
- Еремин Ю.А., Свешников А.Г. Метод дискретных источников в задачах электромагнитной дифракции. - М.: Изд-во МГУ, 1992.
- Дмитриев В.И. Поля в слоистых средах. - Изд-во МГУ, 1963.
- Фелсен Л., Маркувиц Н. Излучение и рассеяние волн. Т. 1. - М.: Мир, 1978.
- Grenfell T.C. and Warren S.G. Representation of a nonspherical ice particle by a collection of independent spheres for scattering and absorption of radiation//J. Geophysical Res. Vol.104, No.D24, pp.31,697-31,709, 1999.