Анализ рассеивающих свойств несферических частиц в слоистой структуре

Abstract

Работа посвящена разработке и реализации метода анализа рассеивающих свойств несферических проницаемых частиц, расположенных под поверхностью пленки, нанесенной на подложку. В качестве основы использован метод дискретных источников. Обсуждаются результаты моделирования, связанные с рассеивающими свойствами сфероидальных частиц.

For citation

References

1. Baliga J. Defect detection on patterened wafers//Semiconductor International. 1997. N4, pp 64-70.
2. Еремин Ю.А., Орлов Н.В. Свешников А.Г. Идентификация дефектов силиконовых подложек в устройствах микроэлектроники методом дискретных источников//Электромагнитные волны. 1998. №5. Стр. 34-43.
3. Еремина Е.Ю., Свешников А.Г. Анализ рассеяния света частицей внутри слоя на основе метода дискретных источников//Вестник Московского Университета. Сер.3. Физика. Астрономия. 1999. №1. Стр.12-17.
4. Еремин Ю.А., Свешников А.Г. Метод дискретных источников в задачах электромагнитной дифракции. - М.: Изд-во МГУ, 1992.
5. Дмитриев В.И. Поля в слоистых средах. - Изд-во МГУ, 1963.
6. Фелсен Л., Маркувиц Н. Излучение и рассеяние волн. Т. 1. - М.: Мир, 1978.
7. Grenfell T.C. and Warren S.G. Representation of a nonspherical ice particle by a collection of independent spheres for scattering and absorption of radiation//J. Geophysical Res. Vol.104, No.D24, pp.31,697-31,709, 1999.