Электрические измерения тонкопленочных ниобиевых микроструктур для неохлаждаемых болометров миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн
Аннотация
Предложено использовать комнатный ниобиевый болометр для электродинамического замещения криогенного приемника в интегральной антенной структуре с целью проведения натурных измерений по исследованию свойств и настройке квазиоптических систем высокочувствительных приемников миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн. Разработана технология изготовления, изготовлены и изучены свойства опытных образцов болометров, на основе тонкопленочного ниобия.
- ниобиевый болометр
- миллиметровый и субмиллиметровый диапазон длин волн
- интегральная иммерсионная линзовая антенна
- электронно-лучевая литография
Abstract (in English)
We report the fabrication technology and investigation of room temperature niobium micro bolometer for electrodynamic substitution of cryogenic detector in integrated immersion lens antennas to study their radiation patterns, properties and configuration of quasi-optical systems.
Для цитирования
Уваров А.В., Кузьмин А.А., Шитов С.В., Коваленко А.Г. Электрические измерения тонкопленочных ниобиевых микроструктур для неохлаждаемых болометров миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн // Журнал радиоэлектроники. – 2011. – № 3.
Литература
- Filipovic D. F., Gearhart S. S., Rebeiz G. M., Double-Slot Antennas on Extended Hemispherical and Elliptical Silicon Dielectric Lenses // IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1993. V. 41. No. 10. Pp. 1738-1749.
- MacDonald M. E., Grossman E. N. Niobium Microbolometers for Far-Infrared Detection // IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1995. Vol. 43. N. 4. Pp. 893-896.
- Richards P.L., Bolometers for Infrared and Millimeter Waves // Journal of Applied Physics. 1994. Vol. 76. No. 1. Pp. 1-24.