Электрические измерения тонкопленочных ниобиевых микроструктур для неохлаждаемых болометров миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн
Abstract
We report the fabrication technology and investigation of room temperature niobium micro bolometer for electrodynamic substitution of cryogenic detector in integrated immersion lens antennas to study their radiation patterns, properties and configuration of quasi-optical systems.
- niobium bolometer millimeter and sub millimeter wavelengths
- the integrated immersion lens antenna
- electron-beam lithography
Аннотация (на русском)
Электрические измерения тонкопленочных ниобиевых микроструктур для неохлаждаемых болометров миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн
Предложено использовать комнатный ниобиевый болометр для электродинамического замещения криогенного приемника в интегральной антенной структуре с целью проведения натурных измерений по исследованию свойств и настройке квазиоптических систем высокочувствительных приемников миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн. Разработана технология изготовления, изготовлены и изучены свойства опытных образцов болометров, на основе тонкопленочного ниобия.
For citation
Uvarov A.V., Kuzmin A.A., Shitov S.V., Kovalenko A.G. Электрические измерения тонкопленочных ниобиевых микроструктур для неохлаждаемых болометров миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн // Journal of Radio Electronics. – 2011. – No. 3.
References
- Filipovic D. F., Gearhart S. S., Rebeiz G. M., Double-Slot Antennas on Extended Hemispherical and Elliptical Silicon Dielectric Lenses // IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1993. V. 41. No. 10. Pp. 1738-1749.
- MacDonald M. E., Grossman E. N. Niobium Microbolometers for Far-Infrared Detection // IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1995. Vol. 43. N. 4. Pp. 893-896.
- Richards P.L., Bolometers for Infrared and Millimeter Waves // Journal of Applied Physics. 1994. Vol. 76. No. 1. Pp. 1-24.